美国摩托罗拉在“Small Fuel Cells 2008”（美国亚特兰大，4月30日～5月2日）上，就具有三维构造的手机用超小型燃料电池的制造方法发表了题为“Fabrication of 3D Micro Fuel Cell for Cell Phone”的演讲。

摩托罗拉计划制造容积与现有手机配备的锂离子充电电池同为8mL，包含燃料电池单元、燃料盒及小型锂离子充电电池的燃料电池系统。8mL容积中，如果2mL是锂离子充电电池、4mL是燃料盒的话，电池单元就只有1mL左右。

因此，该公司此次制造的不是原来的二维（平面）单元，而是可以扩大单元反应面积的三维结构单元。具体是在硅晶圆上的1cm2面积上立体地形成六个单元集合体。一个单元体内集合有约100个圆筒状超小型单元。1个单元的尺寸为直径100μm×高100μm左右。

单元的圆筒内周由燃料极、电解质及空气极构成。燃料从硅晶圆下面开孔处供应，空气从圆筒侧面供应。制造将采用半导体制造工序（图1）。首先，在硅晶圆上形成需要实施四次光刻工序的互连结构。然后，利用干蚀刻（DRIE）在硅晶圆上开孔，并制成燃料H2的供应口。

图1：三维单元的结构