德国Wicht Technologie Consulting（以下WTC）预测，2012年MEMS振荡器的全球市场规模将达到1亿4000万美元。07年的市场规模为250万美元，不过今后将以年均120％以上的速度增长。主要原因是许多领域将用MEMS振荡器替换水晶振荡器。

目前，制造MEMS振荡器的主要厂商有美国SiTime、美国Discera及爱普生东洋等。SiTime和Discera制造以硅为材料的MEMS振荡器，而爱普生东洋的MEMS振荡器采用被该公司称为“QMEMS”的水晶材料。

水晶材料的MEMS振荡器正开始取代手机及GPS产品中、带温度补偿电路的水晶振荡器（TCXO）。另一方面，硅材料的MEMS振荡器与容易满足温度稳定性指标的水晶振荡器展开了竞争。配备硅材料MEMS振荡器的最初产品有支持数字电视的电视机、数码便携式摄像机及车载后视摄像头等。

WTC预计，2012年之前硅素材的MEMS振荡器不会在TCXO市场上普及。原因是相位噪音(Phase-noise)和温度补偿相关的性能指标较为严格。不过，MEMS振荡器在代替水晶振荡器和PLL电路的SoC领域最有可能实现增长。

目前，除美国企业SiTime、Discera、Silicon Clocks外，荷兰恩智浦半导体、意法合资意法半导体等大企业都在投资MEMS振荡器的开发。另外，芬兰技术研究中心（VTT）、芬兰VTI技术及精工爱普生等也在开发MEMS振荡器。