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微机电系统(MEMS)是当今技术领域最热点之一;它采用先进的半导体工艺,将具有信号处理功能的智能机械结构集成在一块芯片中。MEMS 装置具有与传统的传感器和执行器等相同的功能,但比后者要小得多,为使这种体积纤小、结构精巧的微机电器件能够精确、可靠地工作,以适应恶劣环境,MEMS 工程师在设计中普遍采用FEA 方法,借助软件对微机电系统的应力、变形、自振、热损失、流体压差与速度、电阻电导、电磁场干扰等进行结构、流体动力学、热、电、磁等的单场或多场耦合分析,评估微机电系统在各种特定环境与恶劣条件下的可靠性与耐用性,使其体积更纤小、功能更强大、工作更稳定。pd... (2005-5-25)
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